第1140章 光刻机也叫“电老虎”(2 / 2)

倪桄楠听到了这话,震惊了,没想到光刻机技术,何晏居然也有,还直接能拿出来给他们用

这样的话要是在这个基础上,他们研发自己的光刻机就能减少了大量的时间和人力,物力

对于科研来说,时间也是非常宝贵的东西

“各位院士和教授们,在我去解决这几个问题时候,请你们先把实验室建造起来,期间所需要的一切费用,我都会一力承担”

“等机器设备和材料到了,我希望马上就能投入到研究项目里”何晏道

倪桄楠说道:“何总,有个事,您要去跟临安高新开发区那边同志们商量一下,因为光刻机”

“怎么了?”何晏道

“光刻机其实也被称作为“电老虎”,为了创造出切位置一个极其精密,稳定,纯净的环境中,才能在硅片上雕刻电路图案”

“就说光刻机光源系统,就是最耗电,能占到总耗电60℅以上,光刻机在工作时候需要能量极高,波长极短的光曝光硅片上光刻胶,特别是那种最先进euv极紫外光光刻机”

“这种光刻机的光源产生过程都极为复杂和低效,用高功率的二氧化碳激光器(功率约数十千瓦)连续轰击从空中坠下液态锡滴,每秒约5万个”

“激光将锡滴打扁、汽化,形成高温等离子体,这个等离子体在激发状态下会辐射出所需的极紫外光(euv)”

“这个过程的能量转换效率非常低,输入的电能最终只有不到0.02℅,简单说能够转化为可用euv光能量只有不到万分之二,很多部分能量都是以热量和废光形式消失了”

“就是为了点亮一个euv小灯泡,你要建造一个巨大的发电厂给他供电”

“包括号称精度之王的运动指望,光刻机需要在纳米尺度上进行定位和移动,这需要机器精密的机械和控制系统”

“耗电过程也氛围对抗物理惯性和磁悬浮,这也需要很多的供电,还有环境控制系统,光刻过程对环境的要求极其苛刻,任何微小的干扰都会导致晶圆报废”

“恒温系统的机台内部温度需要稳定在±0.01°c,甚至更小范围,材料热胀冷缩会直接导致对准失真,强大精密空调和冷却系统需要24小时不间断工作,耗电量很大”

“所以,这个电量需求的要求,您必须要跟临安甚至是汉江省巡抚衙门协调好这些,光是电费的话每年就不知道要多少钱”王浩洋说道