第2255章

但现在看来，他们还是有些小瞧这种高精度的光刻机了

这让自信满满的他们，遭受了不小的打击

项目刚进展不久，就遇到了第一个重大瓶颈，指挥部里的气氛有些凝重

如果光源问题无法解决，后续的所有工作都无从谈起

李阳静静地听着汇报，翻看着失败的实验数据和损伤元件的照片

他没有指责，而是陷入了沉思

良久，他抬起头，目光扫过在场的专家

“我们是不是陷入了一个思维定式？”

他缓缓开口

“为什么一定要完全沿着asml走过的路再走一遍？”

“他们用lpp成功了，不代表这是唯一的路径，也不一定是最适合我们基础的路径”

他走到白板前，画下了几个简单的示意图

“我们最大的优势是什么？”

“是我们在大型尖端工程装置上积累的经验，尤其是对高温等离子体的理解和控制能力”

“lpp路线本质也是制造和控制等离子体，来产生euv光”

“我们能不能跳出‘模仿’的圈子，利用我们在激光惯性约束聚变或者磁约束聚变中对于等离子体物理的深刻理解，探索一条不同的技术路径？”

“比如，有没有可能利用放电等离子体（dpp），或者结合我们正在研究的新型高功率激光器和特殊材料靶，走出一条我们自己的euv光源技术路线？”

“哪怕初期效率低一些，但只要原理通，能突破，就是胜利！”

李阳目光扫视全场，带着一些激动，和些许的询问

在场的人都是这个领域的专家，相较于他而言，显然更专业一些

李阳目前也是在系统的帮助下，逐步完善这个领域的知识