“报告!锡滴靶材气化不均,镜面烧蚀深度确认!”
操作员的声音带着痛惜
李阳面无表情,目光扫过实时数据:
“峰值功率306kw,锡滴轨迹偏移0.05毫秒,冷却系统瞬时流量下降5%”
曹启东默默调出对比图
“功率波动超出asml历史峰值指标287%”
dpp方案的瓶颈:高功率激光、锡滴精确供给、光学元件防护
三重枷锁坚如磐石,常规路径似乎已至绝境
李阳离开光源实验室,径直走向“龙神堆”主控中心
巨大的屏幕上,代表等离子体湍流的mhd曲线蛇形扭动
控制台那边,一个不起眼的二级报警标识突然闪烁
“报告!”
“堆芯边界区捕获到瞬态x射线脉冲,光谱分析中…”
分析员语速飞快,几分钟后,再次响起他的声音
“确认!”
“峰值波长…13.5纳米波段附近!”
13.5纳米?!
euv光刻的核心波长!
李阳眼神瞬间一凝,疾步上前,调出原始波形及磁场位形
“触发区域?磁场配置?”
“内约束层边缘,b场第四象限湍流抑制节点,当时正在施加特殊梯度磁纹波!”
屏幕回放清晰显示:
特定高能粒子轨迹束流与湍流等离子体短暂互动的瞬间,爆发出的强烈x射线脉冲,其主光谱带精准覆盖13.5纳米区域
同步辐射原理!
高能粒子在强磁场偏转时释放的能量!
一个念头,凭空而起,在李阳脑海中,渐渐完善